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FM100-SE 膜厚測量儀

簡要描述:快速測量,僅需1-2s即可完成一次測量;大范圍膜厚測量,可測量膜厚范圍從15nm-70μm;常規操作只需點擊一個按鈕即可運行,操作簡便;適用于工業現場,穩定可靠;能夠滿足膜厚的常規測量,經濟實用

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新日期:2021-06-22
  • 訪  問  量:94

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應用領域化工,石油,能源,電子

FM100-SE薄膜厚度測量儀能夠快速測量,僅需1-2s即可完成一次測量;大范圍膜厚測量,可測量膜厚范圍從15nm-70μm;常規操作只需點擊一個按鈕即可運行,操作簡便;適用于工業現場,穩定可靠;能夠滿足膜厚的常規測量,經濟實用

FM100-SE薄膜厚度測量儀產品參數:

快速測量:最大典型12寸晶圓(即直徑300mm)
膜厚測量范圍:15nm-75μm(對Si上的SiO2樣品)
膜層數目:1-4層
膜厚測量重復性:0.1nm(對Si上100nm的SiO2樣品)
準確度:2nm或0.4%(對Si上的SiO2樣品)

FM100-SE薄膜厚度測量儀能夠快速測量,僅需1-2s即可完成一次測量;大范圍膜厚測量,可測量膜厚范圍從15nm-70μm;常規操作只需點擊一個按鈕即可運行,操作簡便;適用于工業現場,穩定可靠;能夠滿足膜厚的常規測量,經濟實用

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